精密陶瓷设备应用产品介绍 / 聚焦环 Focus Ring

聚焦环Focus Ring：主要用在半导体以及光电业蚀刻机台设备，所以机台亦长期与化学药剂接触，故此零件大部分厂商会使用陶瓷或是石英，石英部分较陶瓷不耐碰撞，石英碰撞后容易造成表免剥落状态，上机会造成问题。故目前所知采用陶瓷的厂商已经越来越多。